MEMS

近日，上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系刘景全教授和上海交通大学附属胸科医院心内科合作，在植入式MEMS器件的心脏脉冲场消融领域取得重要进展

瑞典皇家理工学院采用创新的3D打印技术实现微机电系统（MEMS）的制造，克服了传统MEMS器件制造的局限性，实现定制化MEMS器件的经济高效生产，未来有望用于微型机器人传感器、飞机加速度计、工业设备振动传感器，以及风力涡轮机的运动和振动控制单元制造。

上海交大邵磊、张文明课题组在MEMS芯片动态测试领域取得突破性进展

科创板将成为多层次资本市场横向建设的重要一环，将对新业态、新模式、新产业、新技术高发的MEMS和物联网产业产生直接的促进作用，有利于助力MEMS和物联网产业新龙头的产生，加速MEMS和物联网企业的优胜劣汰，促进行业快速发展。

日本科学技术振兴机构研究人员开发了一种氮化镓（GaN）基微机电系统（MEMS）谐振器，克服了硅基设备在较高温度下稳定性差的缺陷，即使在600K高温热源下也能通过调节热应变稳定地运行。

德国公司开发的全硅制成的微型扬声器：全新设计可直接语音交互连接到物联网。该技术基于公司称为“ 纳米静电驱动器”（Nanoscopic Electrostatic Drive）的技术 –硅树脂芯片上内置有成排的20微米宽的弯曲条。 条带内部具有静电致动器，可对音频信号电压做出反应。随后的振动产生声音。