瑞典高校利用3D打印技术实现定制化MEMS器件的低成本生产

瑞典皇家理工学院采用创新的3D打印技术实现微机电系统（MEMS）的制造，克服了传统MEMS器件制造的局限性，实现定制化MEMS器件的经济高效生产，未来有望用于微型机器人传感器、飞机加速度计、工业设备振动传感器，以及风力涡轮机的运动和振动控制单元制造。

研究人员开发出一种名为双光子聚合的制造工艺，该工艺可制造出具有数百纳米分辨率的物体，但不具备传感功能。为了制造出转换元件，研究人员采用一种名为投影掩膜（shadow-masking）的技术，其工作原理类似于模板（stencil）。在3D打印结构方面，研究人员制造出具有T形横截面的结构（起到类似雨伞的作用），然后从上方沉积金属，因此T形结构的侧面没有覆盖金属，T形结构顶部的金属与结构的其余部分是电隔离的。获 取 更多前沿科技 研究 进展访问：https://byteclicks.com

研究人员表示，通过这种方法，采用相对便宜的商用制造工具生产十几个定制的MEMS加速度计只需几个小时。该方法能够以经济可行的方式对MEMS器件进行原型设计，并实现MEMS传感器的中小批量生产（每年制造数千个到数万个）。