微纳制造

新研究有望为下一代微电子以及纳电子技术发展注入强大新动力

近日，清华大学机械工程系在基于胶体自组装的微纳制造领域取得重要进展。

中国科学技术大学苏州高等研究院杨亮研究员课题组开发了一套金属氧化物半导体激光微纳制造新方法，实现了亚微米精度的ZnO半导体结构的激光打印，并且将其与金属激光打印相结合，首次验证了二极管、三极管、忆阻器及加密电路等微电子元器件和电路的一体化激光直写，从而将激光微纳加工的应用场景推广到微电子领域，在柔性电子、先进传感器，智能微机电系统等领域具有重要的应用前景。

微纳制造技术自出现以来已经为众多的重要领域带来巨大突破，它对推动国家工业和经济的发展具有重大意义。但传统的微纳制造方法高度依赖于昂贵复杂的精密设备，存在加工速度慢、制备面积小、成本高等问题。近年来，各种胶体材料被开发出来，如果能通过胶体自组装精确地诱导这些胶体微纳米颗粒自发形成特定的结构，将有助于大幅提高效率、降低成本，推动微纳制造的发展。