ASML

ASML公司宣布其多光束检测工具生产线有了重大发展。新的eScan1000将单光束扫描过程转移到九光束扫描过程中，ASML声称，对于在线缺陷检测应用，这类工具的吞吐量提高了600%。该工具适用于当前生产的所有主要工艺节点以及5nm及以上。