新型硅基磷化铟光子集成平台
硅基集成光电芯片的大规模应用需要一个高效的、可扩展的、低成本的硅基光子集成平台。近日，香港科技大学光电科技中心的研究团队设计了一种新型硅基磷化铟光子集成平台，将有望融合目前两大主流光电平台：硅基集成光电子和磷化铟基集成光电子的各自优势。利用全新的“水平侧向选区外延”方式，研究人员成功在绝缘体上硅 (SOI)衬底上单片集成低缺陷密度、与硅基波导共平面的磷化铟亚微米线阵列和大尺寸磷化铟薄膜结构。
