超精密加工

中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心在磁流变超精密加工理论及工艺研究中取得进展。研究发现磁流变超精密加工中存在特定的仅有数十微米带宽的“魔法”角度步距状态，在这种状态下可以稳定地获得无波纹表面，而不影响其他空间频率误差的收敛。