微细电解加工

微细电解加工（microECM）是采用微细工具电极与工件之间保持微小加工间隙，利用金属电化学反应的阳极溶解原理去除材料，可实现导电难加工材料无损伤光滑表面微结构加工，但工具电极周围杂散腐蚀是影响精度创成的关键问题。