
蔡司为3D非破坏性X-ray成像添加智能重构以提升半导体封装失效分析
蔡司(ZEISS)宣布为其领先业界的Xradia Versa系列非破坏性3D X-Ray显微镜(XRM)以及Xradia Context 3D X-ray微机断层扫描技术(microCT)系统,导入先进重构工具模组(Advanced Reconstruction Toolbox)。这一先进重构工具模组利用蔡司内部的算法与独特的工作流程,并结合高效能工作站,大幅改善3D成像重构的输出率与成像品质,而这也是3D XRM进行失效分析(FA)不可或缺的步骤。