ZS Instruments开发用于精密光学编码器的先进光刻技术
ZS Systems LLC公司，一家与普渡大学有联系的初创公司，已经获得了美国国家科学基金会的一百万美元拨款，用于开发先进的微光刻技术以用于精密光学编码器。光学编码器是用于测量位置并将其转换为电子信号的传感器。这笔资金将用于改进这些传感器的制造过程，这对于自动化和机器人系统的精确定位和运动控制至关重要。
上海光机所极紫外光刻光源掩模优化技术取得进展
近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室在极紫外光刻的计算光刻技术研究方面取得进展。研究人员针对极紫外光刻，提出了一种基于厚掩模模型和社会学习粒子群算法（social learning particle swarm optimization, SL-PSO）的光源掩模优化技术（Source and mask optimization, SMO）。
苏州纳米所等在超高精度激光光刻技术研究中获进展
亚10nm的结构在集成电路、光子芯片、微纳传感、光电芯片、纳米器件等技术领域有应用需求，这对微纳加工的效率和精度提出了新挑战。苏州纳米所等在超高精度激光光刻技术研究中获进展
