MEMS谐振器

日本科学技术振兴机构研究人员开发了一种氮化镓（GaN）基微机电系统（MEMS）谐振器，克服了硅基设备在较高温度下稳定性差的缺陷，即使在600K高温热源下也能通过调节热应变稳定地运行。