柔性化电容式微型超声换能器的设计制造
可穿戴式超声传感可以通过连续、实时直接测量生理现象（如血压）来实现新型医疗诊断。目前，由于临床超声系统价格昂贵、体积庞大，且需要较高的工作功率，因此超声并没有被用于可穿戴式健康传感应用。因此，实现可穿戴式超声需要大幅降低成本、尺寸和功耗。
由于传感器经常被整合到消费品中，而成本是技术采用的关键驱动力，因此制造成本尤其令人关注。
为实现这一目标，本研究探讨了通过接触式打印制造低成本超声传感器。选择接触打印是因为它可以扩展到高通量制造，并且它可以在环境温度和压力下进行。在本论文中，通过将复合柔性膜接触打印到硅片基底上，制造了一种电容式微型超声换能器。在制造工艺开发过程中，克服了膜和芯片之间粘附的重大挑战，开发了接触印刷步骤的高产量工艺。
该传感器进行了机电性能表征。该换能器的第一模谐振频率为2.2MHz，带宽为2MHz，将其置于医疗超声应用的关注范围内（通常为1-15MHz）。这些结果表明，柔性膜超声换能器可以制造。此外，他们的成果为通往可穿戴式超声传感和更广泛的柔性医疗设备的铺平道路。
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