ASML表示不需美国批准极紫外DUV光刻机可卖给中国

ASML表示不需美国批准极紫外DUV光刻机可卖给中国

2020年10月14日,ASML的CFO Roger Dassen表示,ASML在没有美国许可证的情况下,仍能从荷兰出口DUV光刻机至中国。至于更先进的EUV光刻机则无法出口至中国,因为EUV光刻机的相关技术或零件是从美国出口的,因此需要美国批准。

美国对高科技设备管制进入中国,光刻机(lithography machine )是芯片制造的核心设备,该市场由荷商ASML 、日商Nikon和Canon三雄割据,其中又以ASML拥有最先进的EUV光刻机技术。据报导,ASML光刻机的市占率高达89% ,其余的两家分别为8%和3% ,总计仅11% 。目前,最先进的EUV光刻机市场由ASML独家供应。近日报导指称,ASML可能出口光刻机给中国。

一台光刻机由成千上万的零件组成,每台光刻机的价格可能高达一亿美元以上。目前光刻机主要分为DUV光刻机(deep ultraviolet)和EUV光刻机(extreme ultraviolet)。其中以EUV光刻机的技术最先进,可突破5nm晶圆制程节点的重要工具。获取更多前沿科技信息访问:https://byteclicks.com

ASML认为DUV光刻机预期可出口到中国,主要原因有二:

1.中国巨大的市场需求。根据中国海关总署的数据,今年(2020) 1至8月止,中国累计进口了价值3334.6亿美元的积体电路,较去年同比增长22.5%。

2.中国增加了对半导体产业的投资。微影制程已经突破到28nm,对阻止DUV光刻机的出口限制中国市场,已经没有太大意义。

但是,DUV光刻机是无法生产14nm或更小的晶圆。(准确地说,液体浸润式(liquid immersion )DUV在多次曝光后是可以生产7nm晶圆的,但良率低且不稳定),要突破14nm就要靠EUV光刻机设备。如果未进口EUV光刻机设备,则只能生产14nm或更大的晶圆。此外,生产晶片所需的材料仍受美国技术的牵制。没有这些材料,也无法生产40nm以下的晶片。因此,中国晶片制造商中芯国际表示,如果完全不使用美国技术,他们目前只能生产40nm的晶片。

以下是ASML的CFO Roger Dassen接受媒体专访内容,如下:

请概述ASML在2020年第三季表现如何?

  • 首先是今年第三季收入达40亿欧元,EUV出货14台,其中10台EUV第三季出货,另外4个是第二季推迟到本季的订单。其中,整机安装数量(Installed Base)的收入为8.62亿欧元。毛利率中位数47.5%。
  • 第三季表现亮眼的原因,主要是EUV净收入11亿欧元。本季营收29亿欧元,其中包括5.94亿欧元的EUV总共4台。但这是净预订,因为这4部EUV将因节点转换需求不同,而调整价格。(由此推估,一台EUV约1.5亿美金。)

将在第四季交付第一台浸入式系统(immersion system)NXT: 2050i。该系统具有更好的叠对控制(overlay control)和生产量,将为客户带来更多价值。即使在COVID-19疫情之下,ASML运营不受影响仍正常供应。

请问EUV最新进展的以及明年展望如何?

从逻辑(Logic)晶片的角度来看,EUV确实有助于逻辑越来越多层。在存储器方面,特别是EUV对DRAM制造助益越来越强。这确实是一个很好的进展。

EUV产能方面,ASML对周期的改进,在今年底之前,将周期缩减至20周,如此将EUV产能达到45至50部机台。

从EUV出货量:到第三季为止,ASML总共出货23台EUV;预估2020年整年,可能接近35台,预期EUV营收45亿欧元。这是基于客户工厂准备的问题以及节点转换的延迟。至于明年(2021),仍存在很多不确定因素,如基于地缘政治所发生的大环境变化,还有COVID-19疫情和未来经济复苏的问题。所以,可能影响制程制造的节点转换及既定时间表。尽管如此,ASML还是希望明年能看到2021年EUV收入增长20%。

EUV毛利率方面,就EUV机台及系统的全年销售而言,其毛利率仍然很大可能性达到40% 。这主要是通过降低成本并为客户提高EUV价值而来,且达到在两三年内,EUV毛利率将接近DUV。

展望2020年第四季和2020全年的看法

至于第四季,ASML预计收入为36至38亿欧元,其中,存储器的销售部分更高。就毛利率而言,预计为50%。与过去几个季相比,这是一个很好的成长。进一步预估2020年整年的实际销售额至少达到了133亿欧元,这跟我们年初估计的目标十分相符。在逻辑、存储器和整机装机量收入方​​面也是如此。虽然,今年大环境挑战多,特别是在疫情影响之下,但在今年是可取得相当不错的成绩。

请问中贸易战,ASML是否受到美国对中芯国际SMIC的限制影响?

首先来谈ASML在中国的业务。去年(2019),ASML的中国本土客户创造了约8亿欧元的销售额。今年(2020)预计会超过10亿欧元,今年比较偏向逻辑晶片。至于客户中芯国际是逻辑晶片的大客户,但我们不会对特定的客户进行评论。总体而言,ASML会尽力为客户提供服务,但必须在法律和法规的要求范围内。目前ASML能够在没有美国出口许可证的情况下,将荷兰的DUV微影系统从荷兰运送给这些中国客户。但是,如果产品涉及直接从美国输出的零件或系统,我们就需要为此申请出口许可证。

展望2021年,ASML期望将看到EUV销售额增加20%。但成长的幅度显然取决于未来许多不确定大环境因素。但大多数客户认为,到今年年底,库存问题(尤其是DRAM)可能会有法解决,预测2020第四季存储器销售额会成长,且持续到明年。在逻辑晶片方面,仍期望是一个健康市场,这取决于大环境变数,还有节点转换的时间表是否有效率。至于,EUV整机安装量:看起来很强劲,增长的幅度将取决于制程的升级情况。

由于,看好终端市场(AI、高性能运算以及5G相关)的发展趋势,将可持续驱动半导体产业未来成长。

ASML表示不需美国批准极紫外DUV光刻机可卖给中国

上一篇:

下一篇:


标签